意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics；ST）宣布與新加坡A*STAR IME研究所，以及日本製造工具供應(yīng)商ULVAC合作，在意法半導(dǎo)體新加坡晶圓廠內(nèi)聯(lián)合打造一條以壓電式MEMS技術(shù)為重點(diǎn)研究方向的8吋（200mm）晶圓研發(fā)生產(chǎn)線。此「Lab-in-Fab」研發(fā)生產(chǎn)線，全球首創(chuàng)將整合三間合作公司在壓電材料、壓電式MEMS技術(shù)和晶圓製造工具領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)，以及優(yōu)勢互補(bǔ)的研發(fā)能力，促進(jìn)新材料和製程技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展，加速企業(yè)客戶的產(chǎn)品研發(fā)。

Lab-in-Fab實(shí)驗(yàn)室包括意法半導(dǎo)體在宏茂橋工業(yè)園區(qū)內(nèi)一個新建的無塵室，將配備合作三方所提供的工具設(shè)備和專用資源，為MEMS研發(fā)製程科學(xué)家和工程師提供工作場所。IME微電子在壓電式MEMS元件設(shè)計(jì)、製程整合和系統(tǒng)整合方面的知識和產(chǎn)業(yè)驅(qū)動力，將為研發(fā)生產(chǎn)線的發(fā)展提供積極的加值作用。

IME還將提供最先進(jìn)的工具設(shè)備，確保科技創(chuàng)新成果順利轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品，全部過程都在同一地點(diǎn)完成。新的研發(fā)生產(chǎn)線還將利用意法半導(dǎo)體現(xiàn)有資源，發(fā)揮在同一園區(qū)內(nèi)之ST晶圓廠的規(guī)模經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢。

預(yù)計(jì)「Lab-in-Fab」設(shè)施將在2021年第二季落成啟用並出產(chǎn)首批晶圓，預(yù)計(jì)在2022年底量產(chǎn)。

意法半導(dǎo)體類比元件、MEMS和感測器（AMS）產(chǎn)品部總裁Benedetto Vigna表示，「我們與IME和ULVAC在此前已有較長的合作經(jīng)驗(yàn)，這次新合作旨在共同創(chuàng)辦世界領(lǐng)先的壓電式MEMS材料、技術(shù)和產(chǎn)品研發(fā)中心。這個全球首創(chuàng)實(shí)驗(yàn)室將設(shè)立於意法半導(dǎo)體之策略要地－新加坡工廠。Lab-in-Fab將讓我們的客戶能夠輕鬆完成從概念可行性研究到產(chǎn)品量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化過程。」

此次合作還可加強(qiáng)意法半導(dǎo)體新加坡公司現(xiàn)有的製程組合，並加速在前景可期的新應(yīng)用領(lǐng)域採用壓電式MEMS致動器，新興應(yīng)用包括智慧眼鏡、AR頭戴式裝置和LiDAR系統(tǒng)使用的MEMS微鏡；新興醫(yī)療設(shè)備所使用的壓電微機(jī)械超音波換能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer；PMUT），以及商用和工業(yè)用3D印表機(jī)的壓電式噴頭。

IME執(zhí)行院長Dim-Lee Kwong教授則表示：「IME、ST和ULVAC之間的合作專案構(gòu)建了一個獨(dú)特的研發(fā)生產(chǎn)線，這個生產(chǎn)線將採用壓電材料開發(fā)創(chuàng)新產(chǎn)品，加強(qiáng)合作夥伴的競爭力。這些努力將會讓高價(jià)值的研發(fā)繼續(xù)紮根於新加坡，並證明新加坡仍是產(chǎn)業(yè)龍頭開啟技術(shù)創(chuàng)新和發(fā)展業(yè)務(wù)的首選地區(qū)。A*STAR將致力於協(xié)助在地中小型企業(yè)研發(fā)並利用我們的技術(shù)。我們歡迎企業(yè)與IME合作，使用Lab-in -Fab實(shí)驗(yàn)室設(shè)施進(jìn)行概念驗(yàn)證。」

ULVAC執(zhí)行長、資深研究員Koukou SUU博士進(jìn)一步表示：「我們很高興能成為ST和IME的Lab-in-Fab合作夥伴，為眾多前景廣闊的未來應(yīng)用開發(fā)先進(jìn)壓電式MEMS產(chǎn)品，這也充分證明了ULVAC在壓電MEMS製造技術(shù)解決方案市場上的領(lǐng)先地位。我們期待與合作夥伴密切合作，使合作圓滿成功。」