全球精密工程與科學技術領導品牌 Renishaw 將於9月10日至12日叁加SEMICON Taiwan國際半導體展，於南港展覽館二館四樓 S7458 攤位磅??登場。本次以「Precision at every stage of semiconductor innovation」為核心主張，重點呈現三大精密量測技術：聚焦高階設備應用的「多自由度 (MDOF)」運動控制編碼器、能同時檢測「六個自由度 (6DOF)」的雷射校正系統，以及用於半導體材料分析的光譜儀，提供客制化量測解決方案，協助半導體制程邁向更高的精度與良率。
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任何設備或運動系統在設計與實際運作之間都可能產生自由度誤差。因此，如何高效率的量測并校正這些誤差 - 尤其對於要求高精度的半導體設備更是關系到制程能否有效提升的關鍵。
為此，Renishaw針對此挑戰提供一系列具關鍵優勢的量測技術，包括：
運動控制編碼器
Renishaw 一系列運動控制編碼器應用廣泛，精準定位，穩健可靠，為高效制程奠定基礎。在要求日益嚴苛的半導體制造中，高精度運動控制已成為制程穩定性的關鍵要素。有監於此，Renishaw 正式推出全新 1.5D 光學尺系統，成為展中的一大亮點。該系統具備多自由度量測能力，能精準反??高精密平臺移動過程中所產生的動態誤差，進而有效掌握整體精度表現，適合不斷推陳出新的半導體設備。此外，Renishaw 多款光學尺系列產品也早已為半導體產業所采用，例如 VIONiC 高性能光學尺就獲設備大廠 ASMPT 應用在其不同階段的後段制程設備上。
設備校正系統
為維持半導體設備長期穩定運作，定期的誤差校正與精度維護已成為不可或缺的環節。XM-60 多光束校正儀可同時量測線性軸六個自由度的誤差，僅需一次擷取，即可完成該軸所有幾何誤差的量測，是一套功能強大、可協助打造高度可靠制程設備的診斷工具。而 XL-80 雷射干涉儀則以極高穩定性與精度聞名，可針對半導體關鍵設備、精密平臺等進行檢測和校正，以確保設備在運作過程中的準確性和穩定性。
拉曼光譜儀
當生產出半導體後，便可以使用 Renishaw 拉曼光譜儀作為半導體的檢測工具。拉曼技術可有效地對多樣化的半導體、高分子材料和超導體進行表徵與成像分析。其分析過程簡單直接，無需樣品制備，也不依賴真空環境操作，避免了使用電子顯微鏡常見的電荷積聚問題。本次展出的 Virsa 拉曼光譜儀是一款可攜式全自動拉曼系統，支援快速分析材料組成、晶體結構、殘留應力等微觀性質。拉曼光譜儀廣泛應用於半導體材料研發、生產監控與良率分析，是非破壞性分析的理想選擇。
值得一提的是，本次展覽期間，Renishaw 英國總部拉曼光譜專家 Jerome Innocent 將於 9 月 11 日下午 14:20 於 SEMICON TechXPOT 創新技術發表會現場演講，深入剖析拉曼光譜於半導體材料應用的最新趨勢，提供業界第一手技術解析。
誠摯邀請您於 SEMICON Taiwan 期間蒞臨Renishaw攤位，與我們一同探索尖端半導體技術的創新應用！
更多資訊請上：www.renishaw.com
