在過去的30年間，MEMS開關被一致認為是性能有限的機電式繼電器的優越取代品。透過易于使用、能夠以損失最小的情況下，可靠的進行從0 Hz/dc至數百GHz路由的小型開關，因而徹底改變了電子系統實現的方法。

此性能上的優勢會對大量設備類型與應用范圍造成沖擊。透過MEMS開關技術，讓電子量測系統、國防系統應用以及健康照護設備得以在性能與外型上實現以往難以達成的水準。
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