在過去的30年間，MEMS開關(guān)被一致認(rèn)為是性能有限的機電式繼電器的優(yōu)越取代品。透過易于使用、能夠以損失最小的情況下，可靠的進行從0 Hz/dc至數(shù)百GHz路由的小型開關(guān)，因而徹底改變了電子系統(tǒng)實現(xiàn)的方法。

此性能上的優(yōu)勢會對大量設(shè)備類型與應(yīng)用范圍造成沖擊。透過MEMS開關(guān)技術(shù)，讓電子量測系統(tǒng)、國防系統(tǒng)應(yīng)用以及健康照護設(shè)備得以在性能與外型上實現(xiàn)以往難以達成的水準(zhǔn)。
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