2016年的SEMICON Taiwan國(guó)際半導(dǎo)體展于9月7日至9日于臺(tái)北南港展覽館舉辦，與全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)維持穩(wěn)定成長(zhǎng)勢(shì)態(tài)相同，SEMICON Taiwan 2016年規(guī)模也持續(xù)擴(kuò)大，這次有近600家國(guó)內(nèi)外領(lǐng)導(dǎo)廠商，展出1,600個(gè)攤位，吸引超過(guò)43,000位專(zhuān)業(yè)人士參觀，再為展會(huì)規(guī)模創(chuàng)下紀(jì)錄。

SEMI臺(tái)灣區(qū)總裁曹世綸指出，臺(tái)灣做為全球半導(dǎo)體制造業(yè)重鎮(zhèn)，并且連續(xù)6年蟬聯(lián)全球第1大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，每年的采購(gòu)金額皆達(dá)到90億美元的水準(zhǔn)， 2017年預(yù)估更可到100億美元，占全球市場(chǎng)的1/4，根據(jù)IEK預(yù)估，2016年臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)值將可達(dá)新臺(tái)幣2.4兆元，以7.2%的成長(zhǎng)率優(yōu)于全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體表現(xiàn)，看好臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的成長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，今年展會(huì)共規(guī)劃17個(gè)展區(qū)，新增IoT、日本沖繩、菲律賓及新加坡專(zhuān)區(qū)，加上原有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)、化學(xué)機(jī)械研磨、高科技廠房設(shè)施、材料、精密機(jī)械、二手設(shè)備、智慧制造、半導(dǎo)體設(shè)備零組件國(guó)產(chǎn)化等主題專(zhuān)區(qū)，以及海峽兩岸、德國(guó)、荷蘭高科技、韓國(guó)、日本九州等國(guó)家/地區(qū)專(zhuān)區(qū)，共9大主題專(zhuān)區(qū)及8大國(guó)家/地區(qū)專(zhuān)區(qū)，帶給參觀者更完整的產(chǎn)業(yè)全貌與國(guó)際視野。

隨著物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展勢(shì)不可擋，行動(dòng)及穿戴裝置對(duì)晶片的低功耗與小體積需求，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的市場(chǎng)契機(jī)，因應(yīng)此趨勢(shì)，SEMICON Taiwan 2016除在展場(chǎng)中新增多種終端應(yīng)用廠商展示最新產(chǎn)品，更安排21場(chǎng)國(guó)際論壇，邀集臺(tái)積電、聯(lián)電、日月光、矽品、艾克爾(Amkor)、柯林研發(fā)(Lam Research)、東京威力科創(chuàng)(TEL)等超過(guò)140位產(chǎn)業(yè)與學(xué)界等重量級(jí)講師，共同探討與剖析最新記憶體科技、半導(dǎo)體材料、MEMS、半導(dǎo)體先進(jìn)制程、高科技產(chǎn)業(yè)永續(xù)發(fā)展、高科技廠房設(shè)施、IC設(shè)計(jì)趨勢(shì)、2.5D/3DIC技術(shù)、內(nèi)埋與晶圓級(jí)封裝技術(shù)、永續(xù)供應(yīng)管理及半導(dǎo)體市場(chǎng)趨勢(shì)等多元議題，吸引了4,000名業(yè)界人士參加，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)注入全球最新之前瞻性的觀點(diǎn)。

曹世綸最后表示，多年來(lái)SEMICON Taiwan不僅成功連結(jié)全球與臺(tái)灣，也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與政府之間的溝通平臺(tái)，透過(guò)加入更多元的展覽內(nèi)容與活動(dòng)，期望促進(jìn)不同領(lǐng)域間精英的交流與資源整合，讓臺(tái)灣繼續(xù)以領(lǐng)頭羊之姿，開(kāi)創(chuàng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)另一個(gè)成功的高峰。

海德漢

在2016年的SEMICON Taiwan中，海德漢展出旗下子公司ETEL的精密XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)Vulcano，海德漢指出，這款產(chǎn)品利用三層堆疊方式可與Theta、ZTheta、ZTheta Tip-Tilt模組搭配完成最多9軸應(yīng)用，X、Y、Z、Tip-Tilt和Theta方向。由于平臺(tái)的高度整合彈性，Vulcano非常適合用于晶圓的前制程段，例如：微影堆疊量測(cè)技術(shù)，關(guān)鍵尺寸以及薄膜量測(cè)等等，機(jī)械軸承的設(shè)計(jì)在XY平面與垂直方向提供極高剛性，允許高加減速度(可達(dá)2.5g)，最高速度(可達(dá)2m/s)，優(yōu)異的雙向重復(fù)精度(X軸與Y軸:±250 nm)以及奈米等級(jí)的定位穩(wěn)定性。 Vulcano 內(nèi)建高速高精度控制器AccurET與主動(dòng)式制振平臺(tái)QuiET ，能大幅增強(qiáng)精密運(yùn)動(dòng)性能。

圖1 : 海德漢的開(kāi)放性光學(xué)尺，期讀取頭和尺身之間為無(wú)機(jī)械接觸，可抗污染，同時(shí)訊號(hào)品質(zhì)也相當(dāng)高。 （攝影/王明德）

此外，海德漢也展出開(kāi)放性光學(xué)尺，此款光學(xué)尺的特色是讀取頭和尺身之間為無(wú)機(jī)械接觸，可抗污染，同時(shí)訊號(hào)品質(zhì)也相當(dāng)高，主要應(yīng)用包括測(cè)量設(shè)??備，比較儀和其他線性測(cè)量的高精密裝置，以及半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量裝備。

Honeywell

全球設(shè)備大廠Honeywell以「創(chuàng)新互聯(lián)，無(wú)憂生產(chǎn)」為主軸，全方位展示了在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的安全檢測(cè)和個(gè)人防護(hù)一體化解決方案，可有效協(xié)助半導(dǎo)體廠房進(jìn)行安全監(jiān)測(cè)，強(qiáng)化企業(yè)整體風(fēng)險(xiǎn)管控能力，進(jìn)而減少工作風(fēng)險(xiǎn)與財(cái)產(chǎn)損失。

Honeywell這次展出了為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日常生產(chǎn)環(huán)境、晶圓生產(chǎn)區(qū)域、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)所設(shè)計(jì)了固定式氣體監(jiān)控系統(tǒng)，如Honeywell RAEGuard 2PID固定式光離子化偵測(cè)器可通過(guò)廠區(qū)布線，將現(xiàn)場(chǎng)危險(xiǎn)氣體檢測(cè)資料傳送到Honeywell主機(jī)；最新升級(jí)版的ACM150Plus傅立葉紅外線光譜氣體監(jiān)測(cè)儀，可檢測(cè)多達(dá)60個(gè)點(diǎn)，檢測(cè)距離達(dá)230公尺，與舊版本相比提供更多采樣點(diǎn)，單點(diǎn)成本更低；Vertex化學(xué)紙帶氣體監(jiān)測(cè)儀，可進(jìn)行ppb (10億分之1) 級(jí)別氣體檢測(cè)，檢測(cè)點(diǎn)多達(dá)72個(gè)，為用戶提供更豐富的布點(diǎn)選擇，從而進(jìn)行更有效的監(jiān)測(cè)。

圖2 : Honeywell展出了為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日常生產(chǎn)環(huán)境、晶圓生產(chǎn)區(qū)域、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)所設(shè)計(jì)了固定式氣體監(jiān)控系統(tǒng)。 （攝影/王明德）

大昌華嘉

大昌華嘉在本屆半導(dǎo)體展，展出一系列Evatec創(chuàng)新的產(chǎn)品線，包括封裝技術(shù)、高功率半導(dǎo)體元件、MEMS、無(wú)線通訊、光電元件及光學(xué)高精準(zhǔn)薄膜沉積及蝕刻設(shè)備等，都是目前Evatec重點(diǎn)發(fā)展的革新技術(shù)。

臺(tái)灣大昌華嘉科技事業(yè)單位半導(dǎo)體部客戶服務(wù)經(jīng)理林文斌指出，由于半導(dǎo)體技術(shù)不斷精進(jìn)，晶圓制程不斷微縮，市場(chǎng)需求正不斷提升，加上各種不同產(chǎn)業(yè)對(duì)于晶圓的設(shè)計(jì)需求都不相同，這使得客戶的需求比起以往更為嚴(yán)苛。而Evatec正是根據(jù)著顧客對(duì)于制程需求、工廠產(chǎn)能及整合的需要，打造一系列的新產(chǎn)品平臺(tái)來(lái)滿足客戶。

圖3 : 臺(tái)灣大昌華嘉科技事業(yè)單位半導(dǎo)體部客戶服務(wù)經(jīng)理林文斌指出，Evatec根據(jù)顧客對(duì)于制程需求、工廠產(chǎn)能及整合的需要，打造一系列的新產(chǎn)品平臺(tái)來(lái)滿足客戶。 （攝影/王岫晨）

位于瑞士的Evatec，專(zhuān)精于半導(dǎo)體與薄膜沉積鍍膜設(shè)備及制程之研發(fā)與制造。而Evatec也以其蒸鍍及濺鍍系統(tǒng)，協(xié)助半導(dǎo)體與光學(xué)元件制造商，生產(chǎn)出先進(jìn)的半導(dǎo)體晶片、光學(xué)濾膜與鏡片。而在本屆的臺(tái)灣半導(dǎo)體展，Evatec推出的重點(diǎn)產(chǎn)品含括了最新硬體與創(chuàng)新制程資訊，包含最新一代HEXAGON先進(jìn)封裝技術(shù)，以及為扇出型晶圓級(jí)封裝技術(shù)建立新的生產(chǎn)力及性能標(biāo)準(zhǔn)的CLUSTERLINE 300制程設(shè)備。此外，Evatec的Degas、“Arctic Etch”金屬層鍍膜技術(shù)，可讓每次的保養(yǎng)周期達(dá)到30,000片，每小時(shí)產(chǎn)出56片晶圓，可說(shuō)是領(lǐng)先業(yè)界其他競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。