利用碳纖維奈米管技術(shù)，能強(qiáng)化現(xiàn)今的運(yùn)輸盒解決方案，Entegris 開發(fā)出STAT-PRO 9000 碳纖維奈米管，增強(qiáng)PEEK碳化合物運(yùn)輸承載盒解決方案，以更高價(jià)值的PEEK 運(yùn)輸承載盒，來滿足半導(dǎo)體市場的需求。半導(dǎo)體制造商要求可混合運(yùn)行(高度互通于現(xiàn)有的運(yùn)輸承載盒安裝基礎(chǔ))、價(jià)位降低的運(yùn)輸承載盒解決方案，其效能應(yīng)等同于(或優(yōu)于) 傳統(tǒng)的PEEK運(yùn)輸承載盒解決方案；新一代STAT-PRO 9000 運(yùn)輸承載盒采用混合運(yùn)行解決方案，可滿足日益增長的市場需求，而且效能與價(jià)格都優(yōu)于傳統(tǒng)PEEK 運(yùn)輸承載盒。

相較于傳統(tǒng)PEEK 運(yùn)輸承載盒解決方案，STAT-PRO 9000 新一代運(yùn)輸承載盒可嚴(yán)格控制表面電阻的波動，提供出色的靜電放電保護(hù)，并改善了抗磨損性及吸濕性，達(dá)到極低的釋氣有機(jī)分子污染等級，且在極高溫之下也有良好的彎曲和拉伸強(qiáng)度。 Rossi表示，「能夠?qū)崿F(xiàn)上述優(yōu)勢并且提升效率，應(yīng)歸功于我們正在申請專利的材料，其生產(chǎn)制程均受到嚴(yán)格控管?！筍tat-Pro 9000 運(yùn)輸承載盒適用于所有晶圓大小。

下圖表列出 STAT-PRO 9000 運(yùn)輸承載盒的特性以及在半導(dǎo)體制程中的優(yōu)勢。

圖1

Entegris 已對三種不同的Entegris 材料進(jìn)行動態(tài)機(jī)械熱分析(DMTA) 測試：STAT-PRO 9000 (在下圖中稱為SP9000)、碳纖維填充的聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT - Entegris 商標(biāo)名稱FluoroSentry ) 和碳粉填充的聚丙烯(Entegris 商標(biāo)名稱STAT-PRO100；在圖中稱為SP100)。下圖以溫度函數(shù)顯示材料強(qiáng)度。對于每種材料，Entegris 運(yùn)輸承載盒產(chǎn)品在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)表現(xiàn)出眾，并提供優(yōu)異的投資回報(bào) (對于 STAT-PRO 100 和 FluoroSentry 而言，超過 20 年)。然而，對于試圖在關(guān)鍵半導(dǎo)體制程中提高運(yùn)輸承載盒效能的客戶而言，STAT-PRO 9000 運(yùn)輸承載盒解決方案大幅提高了機(jī)械強(qiáng)度和溫度效能。

如前所述，STAT-PRO 9000 運(yùn)輸承載盒可透過下列特性實(shí)現(xiàn)極低的晶圓污染率，包括：(1) 在各種連續(xù)使用和晶圓置入溫度范圍內(nèi)具有出色的尺寸穩(wěn)定性(機(jī)械性能)，提供精確、可靠的制程機(jī)臺/AMHS 介面以及精確且可預(yù)測的晶圓位置，以確保晶圓運(yùn)輸符合要求，進(jìn)而將微粒產(chǎn)生/晶圓污染減至最少，(2) 臨近晶圓(如有機(jī)物氣體釋放、陽離子、陰離子) 的晶圓運(yùn)輸承載盒材料具有極低的分子污染等級，和(3) 極好的抗磨損性，進(jìn)而可減少晶圓表面上的磨損/微粒產(chǎn)生。

圖2

對于使用傳統(tǒng) Entegris STAT-PRO 3000 運(yùn)輸承載盒的客戶而言，運(yùn)輸承載盒并不會讓客戶增加額外成本。實(shí)際上，對這些客戶而言，相比 Entegris STAT-PRO 3000 運(yùn)輸承載盒，購買 STAT-PRO 9000 運(yùn)輸承載盒解決方案的價(jià)格更低。

對于有興趣將其運(yùn)輸承載盒安裝基礎(chǔ)從較低效能/經(jīng)濟(jì)層的運(yùn)輸承載盒升級至 STAT-PRO 9000 運(yùn)輸承載盒的其他半導(dǎo)體客戶而言，可能會增加單位成本。該額外成本預(yù)計(jì)將會被大幅提升的效能所帶來的效益快速抵消，包括運(yùn)輸承載盒的一般使用壽命：聚丙烯(1 年)，聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT) (2 年)，STAT-PRO 9000 (5 年)。

最后，STAT-PRO 9000 運(yùn)輸承載盒的設(shè)計(jì)可與客戶現(xiàn)有的運(yùn)輸承載盒進(jìn)行混合運(yùn)行 (高交互操作性)。因此，客戶可在經(jīng)過一段時(shí)間后或在預(yù)算允許的情況下，將運(yùn)輸承載盒安裝基礎(chǔ)慢慢轉(zhuǎn)移為 STAT-PRO 9000 運(yùn)輸承載盒安裝基礎(chǔ)；無需進(jìn)行大規(guī)模轉(zhuǎn)換。

(本文作者為Entegris資深制程經(jīng)理)