Tektronix（太克科技）推出Keithley S540功率半導體測試系統，這是為高達3kV的功率半導體裝置和結構提供的全自動48針腳參數測試系統。完全整合的S540是專為與最新復合功率半導體材料（包括碳化矽（SiC） 和氮化鎵（GaN）） 搭配使用而進行最佳化處理，可在一次探頭接入中執行所有高壓、低壓和電容等測試。

專為最新的功率半導體裝置所提供的全自動高速晶圓級參數測試解決方案，包括高達3 kV的SiC和GaN。

隨著對功率半導體裝置的需求不斷提高，同時，SiC和GaN也日益商業化，制造商正在生產制程中采用晶圓級測試，以有效提升良率并改善盈利能力。針對這些應用，S540顯著地縮短了測試時間和測試設定時間，并減少了占用空間，同時實現了實驗室級高電壓量測效能，進而降低了擁有成本。

Tektronix的Keithley產品系列總經理Mike Flaherty表示：「許多晶圓廠正使用自訂的混合測試系統來執行功率半導體測試，在從低電壓測試轉向高電壓測試時，需手動變更測試設定。正如您所預期，這會增加制程步驟并拖慢生產速度。相較之下，S540是一款完全整合的解決方案，特別適合必須迅速測試各種裝置的生產環境。」

為提供生產級效能，S540可在高達48針腳上執行參數量測，而不需更換電纜或探棒卡設施，還可執行高達3kV的電晶體電容量測，如Ciss、Coss和Crss，而無需手動重新配置測試針腳。 S540還提供了pA級量測效能，可在不到1秒內執行全自動高壓泄漏電流測試，進一步提升了測試產出量。

S540為標準商業化產品，提供了可完整追蹤的系統規格、安全相容性、診斷功能，以及全球性服務和支援，而這些都視內部開發或自訂的系統常無法提供的功能。 S540秉承了Keithley 30余年的半導體參數經驗，完美整合了半導體測試儀器與高低電壓切換矩陣、連接纜線、探棒卡轉接器、探測器驅動程式和測試軟體。