全球精密工程與科學(xué)技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)品牌 Renishaw 將於9月10日至12日叁加SEMICON Taiwan國(guó)際半導(dǎo)體展，於南港展覽館二館四樓 S7458 攤位磅??登場(chǎng)。本次以「Precision at every stage of semiconductor innovation」為核心主張，重點(diǎn)呈現(xiàn)三大精密量測(cè)技術(shù)：聚焦高階設(shè)備應(yīng)用的「多自由度 (MDOF)」運(yùn)動(dòng)控制編碼器、能同時(shí)檢測(cè)「六個(gè)自由度 (6DOF)」的雷射校正系統(tǒng)，以及用於半導(dǎo)體材料分析的光譜儀，提供客制化量測(cè)解決方案，協(xié)助半導(dǎo)體制程邁向更高的精度與良率。

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任何設(shè)備或運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在設(shè)計(jì)與實(shí)際運(yùn)作之間都可能產(chǎn)生自由度誤差。因此，如何高效率的量測(cè)并校正這些誤差 - 尤其對(duì)於要求高精度的半導(dǎo)體設(shè)備更是關(guān)系到制程能否有效提升的關(guān)鍵。

為此，Renishaw針對(duì)此挑戰(zhàn)提供一系列具關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)的量測(cè)技術(shù)，包括：

運(yùn)動(dòng)控制編碼器

Renishaw 一系列運(yùn)動(dòng)控制編碼器應(yīng)用廣泛，精準(zhǔn)定位，穩(wěn)健可靠，為高效制程奠定基礎(chǔ)。在要求日益嚴(yán)苛的半導(dǎo)體制造中，高精度運(yùn)動(dòng)控制已成為制程穩(wěn)定性的關(guān)鍵要素。有監(jiān)於此，Renishaw 正式推出全新 1.5D 光學(xué)尺系統(tǒng)，成為展中的一大亮點(diǎn)。該系統(tǒng)具備多自由度量測(cè)能力，能精準(zhǔn)反??高精密平臺(tái)移動(dòng)過(guò)程中所產(chǎn)生的動(dòng)態(tài)誤差，進(jìn)而有效掌握整體精度表現(xiàn)，適合不斷推陳出新的半導(dǎo)體設(shè)備。此外，Renishaw 多款光學(xué)尺系列產(chǎn)品也早已為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所采用，例如 VIONiC 高性能光學(xué)尺就獲設(shè)備大廠 ASMPT 應(yīng)用在其不同階段的後段制程設(shè)備上。

設(shè)備校正系統(tǒng)

為維持半導(dǎo)體設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)作，定期的誤差校正與精度維護(hù)已成為不可或缺的環(huán)節(jié)。XM-60 多光束校正儀可同時(shí)量測(cè)線性軸六個(gè)自由度的誤差，僅需一次擷取，即可完成該軸所有幾何誤差的量測(cè)，是一套功能強(qiáng)大、可協(xié)助打造高度可靠制程設(shè)備的診斷工具。而 XL-80 雷射干涉儀則以極高穩(wěn)定性與精度聞名，可針對(duì)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備、精密平臺(tái)等進(jìn)行檢測(cè)和校正，以確保設(shè)備在運(yùn)作過(guò)程中的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

拉曼光譜儀

當(dāng)生產(chǎn)出半導(dǎo)體後，便可以使用 Renishaw 拉曼光譜儀作為半導(dǎo)體的檢測(cè)工具。拉曼技術(shù)可有效地對(duì)多樣化的半導(dǎo)體、高分子材料和超導(dǎo)體進(jìn)行表徵與成像分析。其分析過(guò)程簡(jiǎn)單直接，無(wú)需樣品制備，也不依賴真空環(huán)境操作，避免了使用電子顯微鏡常見(jiàn)的電荷積聚問(wèn)題。本次展出的 Virsa 拉曼光譜儀是一款可攜式全自動(dòng)拉曼系統(tǒng)，支援快速分析材料組成、晶體結(jié)構(gòu)、殘留應(yīng)力等微觀性質(zhì)。拉曼光譜儀廣泛應(yīng)用於半導(dǎo)體材料研發(fā)、生產(chǎn)監(jiān)控與良率分析，是非破壞性分析的理想選擇。

值得一提的是，本次展覽期間，Renishaw 英國(guó)總部拉曼光譜專家 Jerome Innocent 將於 9 月 11 日下午 14:20 於 SEMICON TechXPOT 創(chuàng)新技術(shù)發(fā)表會(huì)現(xiàn)場(chǎng)演講，深入剖析拉曼光譜於半導(dǎo)體材料應(yīng)用的最新趨勢(shì)，提供業(yè)界第一手技術(shù)解析。

誠(chéng)摯邀請(qǐng)您於 SEMICON Taiwan 期間蒞臨Renishaw攤位，與我們一同探索尖端半導(dǎo)體技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用！

更多資訊請(qǐng)上：www.renishaw.com