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    意法半導體率領歐洲研發(fā)項目,開發(fā)下一代光學MEMS產(chǎn)品
    Dressing udstyr   2015年03月02日 星期一 瀏覽人次: [6014]

    意法半導體(STMicroelectronics;ST)將擔任Lab4MEMS II項目負責人。Lab4MEMS II是以第一代Lab4MEMS項目(始于2013年4月)的成功經(jīng)驗為基礎而擴展的第二代項目計劃,實現(xiàn)下一代應用技術,主要研究項目是整合MEMS及微光學(Micro-optics)的微光機電系統(tǒng)(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems;MOEMS),該系統(tǒng)可透過機械、光學及電子的整合化系統(tǒng)偵測或控制光學訊號,并保留了原項目為日后升級研發(fā)的下一代MEMS組件的試產(chǎn)線。下一代的MEMS組件搭配壓電(piezoelectric)或磁性材料及3D封裝等先進技術,可大幅強化產(chǎn)品的性能表現(xiàn)。如同第一代項目,Lab4MEMS II同樣是由奈米電子產(chǎn)業(yè)公私合營組織歐洲奈米科技方案咨詢委員會(European Nanoelectronics Initiative Advisory Council;ENIAC)合作組織(Joint Undertaking;JU)所發(fā)起。

    Lab4MEMS II是耗資2600萬歐元(3000萬美元)的項目計劃,合作組織橫跨9個歐洲國家、含括20個工業(yè)、學術及科研組織。憑借第一代Lab4MEMS項目所打下的成功基礎,Lab4MEMS II項目委托意法半導體擔任項目協(xié)調(diào)負責人,為研究發(fā)展提供完整的制造、技術及組織服務,引領歐洲微光機電系統(tǒng)的研究發(fā)展。

    意法半導體擁有1000多項MEMS專利,出貨量已突破80億顆,自有產(chǎn)能的日產(chǎn)量超過400萬顆,這些成績讓意法半導體成為歐洲MEMS項目負責人的最佳人選。Lab4MEMS II項目的主要研究項目是利用微光學與標準微加工技術進行設計、制造及測試各種組件,包括光學切換器(optical switche)、微反射鏡(micro-mirror)數(shù)組、光交換鏈接器(optical cross-connect)、激光器、微透鏡(micro lenses),以縮減組件尺寸,實現(xiàn)先進的光學系統(tǒng)。微光機電系統(tǒng)是一個可用來研發(fā)未來高價值商用產(chǎn)品的平臺,例如光學切換器、微反射鏡組件及動態(tài)顯示器(dynamic display)、雙穩(wěn)態(tài)(bi-stable)裝置、光學快門(optical shutter),這些光學組件皆可用于微型投影機、雷射微型掃描機、新一代人機接口以及微型光譜儀(micro-spectrometer)。這項項目以實現(xiàn)優(yōu)化的單軸雙反射鏡(dual single-axis mirror)制程為目標,并將致力于研發(fā)雙軸單反射鏡的各種應用可能。

    Lab4MEMS II是ENIAC JU所簽定的一個關鍵實現(xiàn)技術(Key Enabling Technologies;KET)的試產(chǎn)項目,旨在于開發(fā)對社會影響重大的技術和應用領域。意法半導體歐洲研發(fā)與公共事務部項目經(jīng)理Roberto Zafalon表示:「ENIAC JU研究項目的宗旨與意法半導體運用科技提高人們生活質(zhì)量的承諾完全一致,微光機電系統(tǒng)是一項很有前景的多功能技術,能夠使關鍵的光學系統(tǒng)小型化,使協(xié)會、ENIAC成員國在內(nèi)的項目成員與利害關系人受益。我們期望開發(fā)成果最終可轉(zhuǎn)化為長期的市場成長和高價值的知識型就業(yè)機會,進一步促使經(jīng)濟繁榮并造福社會。」

    Lab4MEMS II的試產(chǎn)線將擴大意法半導體Agrate Brianza的200 mm晶圓廠產(chǎn)能,并在現(xiàn)有技術中增加光學技術。此外,該生產(chǎn)線還有助于意法半導體提升這些策略性技術的實際研發(fā)經(jīng)驗,同時整合了科研能力與各種微型智能系統(tǒng)芯片及奈米系統(tǒng)芯片的研發(fā)能力。不僅如此,該項目還將評估未來芯片升級到300mm的潛在優(yōu)勢和影響。

    ENIAC JU是一個公私合營的產(chǎn)業(yè)學術聯(lián)盟,成員包括ENIAC成員國、歐盟和歐洲奈米電子技術研究協(xié)會(Association for European Nanoelectronics Activities;AENEAS),目前該組織透過競標的形式為其研發(fā)項目提供大約18億歐元的研發(fā)經(jīng)費。意法半導體負責的Lab4MEMS II項目于2013年秋季得標,2014年11月開始運作。

    除意法半導體外,Lab4MEMS II項目合作方還包括:Politecnico di Torino and di Milano;Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica;CNR-IMM MDM;Commissariat Al Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives;ARKEMA SA;University of Malta;Okmetic Oyj;MURATA Electronics;VTT Memsfab Ltd;Teknologian tutkimuskeskus VTT;Aalto University;KLA-Tencor ICOS;University POLITEHNICA of Bucharest – CSSNT;Instytut Technologii Elektronowej;Warsaw;Stiftelsen SINTEF;Polewall AS;Besi Austria GmbH。

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